baneri
baneri

USTC je napravio važan napredak u području laserskog mikro-nanoa proizvode

Istraživačica Istraživača Yang Liang za naprednu studiju na Univerzitetu za nauku i tehnologiju Kine razvila je nova metoda za proizvodnju lasera za selustruk od strane mikro-nano-a, a kombinirao je s metalnim laserskim tiskanjem, po prvi put provjerio integrirano lasersko direktno pisanje mikroelektronskih komponenata i krugova Kao diode, triode, megra i šifriranja, čime su proširile scenarije aplikacija Laser Micro-Nano obrada na polje mikroelektronike, u fleksibilnoj elektronici, naprednim senzorima, inteligentnim MEMS-om i drugim poljima. Rezultati istraživanja nedavno su objavljeni u "Prirodni komunikacijama" pod naslovom "Lasersko štampano mikroelektronika".

Štampana elektronika je tehnologija u nastajanju koja koristi metode ispisa za proizvodnju elektroničkih proizvoda. Ispunjava karakteristike fleksibilnosti i personalizacije nove generacije elektroničkih proizvoda i donijet će novu tehnološku revoluciju u industriju mikroelektronike. Tokom proteklih 20 godina štampanje inkjet, laser izazvane transferom (lift) ili druge tehnike ispisa dale su velike korake za omogućavanje izrade funkcionalnih organskih i neorganskih mikroelektronskih uređaja bez potrebe za okoliš čistoćom. Međutim, tipična veličina funkcije gore navedenih metoda ispisa obično je reda desetina mikrona, a često zahtijeva proces post-obrade visokoj temperaturi ili se oslanja na kombinaciju višestrukih procesa za postizanje obrade funkcionalnih uređaja. Laserska mikro-nano tehnologija koristi nelinearnu interakciju između laserskih impulsa i materijala, te mogu postići složene funkcionalne strukture i aditivne proizvodnje uređaja koji su teško postići tradicionalnim metodama s preciznom <100 nm. Međutim, većina trenutnih laserskih mikro-nano-nano-izrađenih konstrukcija su pojedinačni polimerni materijali ili metalni materijali. Nedostatak metoda laserske izravne načine pisanja za poluvodičke materijale takođe otežava proširenje aplikacije Laser Micro-Nano tehnologije obrade na polje mikroelektronskih uređaja.

1-2

U ovoj tezi, Istraživač Yang Liang, u saradnji sa istraživačima u Njemačkoj i Australiji, inovativno je razvio tehnologiju štampanja za funkcionalne elektroničke uređaje, realizirajući se poluprovodnici (Slika 1), a ne zahtijeva nikakve korake za proces post-obrade visokog temperature, a minimalna veličina procesa obrade, a minimalna veličina funkcije je <1 μm. Ovaj proboj omogućava prilagođavanje dizajna i ispisa vodiča, poluvodiča, pa čak i rasporeda izolacijskih materijala prema funkcijama mikroelektronskih uređaja, što uvelike poboljšava tačnost, fleksibilnost i kontroličnost štampanja mikroelektronskih uređaja. Na osnovu toga, istraživački tim uspješno je realizirao integrirano lasersko pravo na vrijeme diode, memrtistara i fizički ne-reproducirajuće krugove za šifriranje (slika 2). Ova je tehnologija kompatibilna s tradicionalnim tiskanjem inkjet i drugim tehnologijama, a očekuje se da će se proširiti na ispis različitih P-tipa i n-tipa poluvodičkih metalnih oksidnih materijala, pružajući sistematsku novu metodu za preradu složenih, velikih, trodimenzionalnih funkcionalnih mikroelektronskih uređaja.

2-3

Teza: https: //www.nature.com/articles/s41467-023-36722-7


Pošta: Mar-09-2023